
快科技6月8日音讯,针对外界称台积电因保守不肯投资下一代光刻配置的传言,台积电董事长魏哲家近日在鼓吹大会上躬行辟谣,示意有买High-NAEUV光刻机,且正竭力于研发,但基于本钱考量,现阶段暂不参加量产。
这台ASML研发的最新High-NAEUV光刻机,每台单价高达3.8亿至4亿好意思元,尊龙凯时2026世界杯中国官网是刻下主流EUV配置的两倍多。魏哲家坦言,配置太贵是暂不量产的主因。
台积电的计谋是先用好手里现存的EUV配置。魏哲家强调,现存光刻机搭配多重图案化技巧,LOL比赛下注2026中国官网入口仍足以支握先进制程的微缩需求,台积电有底气等High-NAEUV的经济账算得更合算时再动手。
乐动中国手机app官网台积电早在2024年9月就罗致了首台High-NAEUV光刻机,并安置在研发中心用于开辟下一代工艺的基础光刻技巧。魏哲家以为,提前启动研发准备,能力确保改日投产时达到可靠良率与产出按捺。
不外他坦言,要把这台4亿好意思元的配置果真用起来,还需再等等。英特尔等竞争者早已将High-NAEUV提上量产日程,而台积电聘任先研发、后投产更稳妥的阶梯,得当其一贯的本钱顺序。
魏哲家瞻望,High-NAEUV将在果真需要单次曝光竣事更渺小线宽且晶圆本钱运行具备竞争力的时辰点,当然进入坐褥体系。
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